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標(biāo)識(shí)牌制作處理工藝-腐蝕

來(lái)源:明道標(biāo)識(shí)   時(shí)間:2017-06-12 09:16:16

今天明道小編要給大家介紹的是標(biāo)識(shí)牌制作中的腐蝕工藝, 歡迎咨詢明道技術(shù)人員(TEL:0519-87874444)了解詳情!
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   1、硅片去層作業(yè):⑴、堿洗去層:在反應(yīng)容器中配制20-40%的氫氧化鈉溶液為腐蝕溶液,將硅片加入堿鍋里進(jìn)行腐蝕,根據(jù)硅片的結(jié)深確定腐蝕時(shí)間,一般為30---120秒。用漏勺撈起看硅料表面是否光亮無(wú)雜質(zhì)。
 
  ⑵、沖洗殘堿:在沖洗槽中將硅片上附著的殘堿沖洗干凈。
 
  ⑶、超聲波超洗:①、在超聲波內(nèi)注入足量純凈水以能夠淹沒(méi)硅片為準(zhǔn)。②、將10-15千克的硅片用純凈水沖凈,倒入清洗槽內(nèi),打開(kāi)超聲機(jī)清洗開(kāi)關(guān),每10分鐘將硅片全部翻動(dòng)一次,以免疊片時(shí)夾雜雜質(zhì),無(wú)法清洗出來(lái)。清洗20分鐘換兩次水后關(guān)閉超聲清洗開(kāi)關(guān),將槽內(nèi)清洗水放盡。③、用高純水再超兩次(每次10分鐘),每3分鐘將硅片翻動(dòng)一次,最后關(guān)閉超聲波開(kāi)關(guān),放盡清洗水,翻動(dòng)硅片,將雜質(zhì)和殘留硅片上的清洗水沖盡。④、氫氟酸浸泡:在浸泡池中配置15%~25%的氫氟酸溶液,將硅片放入浸泡池內(nèi)浸泡5-6分鐘,并攪拌硅片避免疊片。或用1:15-20的混酸進(jìn)行清洗30S左右。⑤、沖洗殘酸:在沖洗槽中將硅片殘酸沖洗干凈。
 
  ⑥、超聲波清洗:A、在超聲波內(nèi)注入足量純凈水以能夠淹沒(méi)硅片為準(zhǔn)。
 
  B、將10-15千克的硅片用純凈水沖凈,倒入清洗水槽內(nèi),打開(kāi)清洗開(kāi)關(guān),每10分鐘將硅片全部翻動(dòng)一次,以免疊片時(shí)夾雜雜質(zhì),無(wú)法清洗出來(lái)。超聲時(shí)間按車間具體規(guī)定執(zhí)行。
 
  C、用高純水沖洗硅片,將殘留雜質(zhì)沖凈。
 
  D、用高純水沖洗將雜質(zhì)和殘留硅片上的清洗水沖盡。
 
  E、脫水:用紗網(wǎng),每次放硅片5-6千克到脫水機(jī)中脫水2分鐘。
 
  F、沖洗:將硅片放入沖洗槽中沖洗并攪拌。
 
  G、烘干:將硅片放入花籃中,堆積厚度小于2厘米,并將硅片用塑料棒劃通氣縫。烘箱溫度調(diào)至115℃,烘干2~4小時(shí)。
 
  2、硅片浸泡作業(yè):
 
  ⑴、濕法蝕刻工藝:將硅片倒入浸泡池中,體積不超過(guò)浸泡池的2/3。在浸泡池中倒入腐蝕溶液。腐蝕溶液為氫氟酸49-59%的工業(yè)純刻蝕溶液,浸泡12小時(shí)后,放出酸液,將硅片沖洗干凈。
 
  ⑵、去除金屬沾污:配制王水溶液,根據(jù)氣溫變化稀釋至30-50%的濃度,浸泡12小時(shí)后,放出酸液,將硅片沖洗干凈。
 
  ⑶、二次濕法蝕刻工藝:將硅片倒入浸泡池中,體積不超過(guò)浸泡池的2/3。在浸泡池中倒入腐蝕溶液。腐蝕溶液配比為HF:NH4F=(6-10)工業(yè)氫氟酸,浸泡:112小時(shí)后,放出酸液,將硅片沖洗干凈。

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