今天明道小編要給大家介紹的是標識牌制作中的腐蝕工藝, 歡迎咨詢明道技術人員(TEL:0519-87874444)了解詳情!
1、硅片去層作業:⑴、堿洗去層:在反應容器中配制20-40%的氫氧化鈉溶液為腐蝕溶液,將硅片加入堿鍋里進行腐蝕,根據硅片的結深確定腐蝕時間,一般為30---120秒。用漏勺撈起看硅料表面是否光亮無雜質。
⑵、沖洗殘堿:在沖洗槽中將硅片上附著的殘堿沖洗干凈。
⑶、超聲波超洗:①、在超聲波內注入足量純凈水以能夠淹沒硅片為準。②、將10-15千克的硅片用純凈水沖凈,倒入清洗槽內,打開超聲機清洗開關,每10分鐘將硅片全部翻動一次,以免疊片時夾雜雜質,無法清洗出來。清洗20分鐘換兩次水后關閉超聲清洗開關,將槽內清洗水放盡。③、用高純水再超兩次(每次10分鐘),每3分鐘將硅片翻動一次,最后關閉超聲波開關,放盡清洗水,翻動硅片,將雜質和殘留硅片上的清洗水沖盡。④、氫氟酸浸泡:在浸泡池中配置15%~25%的氫氟酸溶液,將硅片放入浸泡池內浸泡5-6分鐘,并攪拌硅片避免疊片。或用1:15-20的混酸進行清洗30S左右。⑤、沖洗殘酸:在沖洗槽中將硅片殘酸沖洗干凈。
⑥、超聲波清洗:A、在超聲波內注入足量純凈水以能夠淹沒硅片為準。
B、將10-15千克的硅片用純凈水沖凈,倒入清洗水槽內,打開清洗開關,每10分鐘將硅片全部翻動一次,以免疊片時夾雜雜質,無法清洗出來。超聲時間按車間具體規定執行。
C、用高純水沖洗硅片,將殘留雜質沖凈。
D、用高純水沖洗將雜質和殘留硅片上的清洗水沖盡。
E、脫水:用紗網,每次放硅片5-6千克到脫水機中脫水2分鐘。
F、沖洗:將硅片放入沖洗槽中沖洗并攪拌。
G、烘干:將硅片放入花籃中,堆積厚度小于2厘米,并將硅片用塑料棒劃通氣縫。烘箱溫度調至115℃,烘干2~4小時。
2、硅片浸泡作業:
⑴、濕法蝕刻工藝:將硅片倒入浸泡池中,體積不超過浸泡池的2/3。在浸泡池中倒入腐蝕溶液。腐蝕溶液為氫氟酸49-59%的工業純刻蝕溶液,浸泡12小時后,放出酸液,將硅片沖洗干凈。
⑵、去除金屬沾污:配制王水溶液,根據氣溫變化稀釋至30-50%的濃度,浸泡12小時后,放出酸液,將硅片沖洗干凈。
⑶、二次濕法蝕刻工藝:將硅片倒入浸泡池中,體積不超過浸泡池的2/3。在浸泡池中倒入腐蝕溶液。腐蝕溶液配比為HF:NH4F=(6-10)工業氫氟酸,浸泡:112小時后,放出酸液,將硅片沖洗干凈。
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